现在等离子设备是处理环保设备的一种有效手段，面对不现在全球化的环境污染问题有很好的的治理效果。这种设备的使用可能危害到人体的身体健康，等离子设备的安  装和使用才显得重要。

等离子废气处理设备作为一种高效、低能耗、处理量大、操作简单的环保新技术来处理有毒、有害及难降解物质，低温等离子设备是近年来一项重大科技成果，具有其它方法无法比拟的绝对优势。低温等离子体技术应用范围广，气体的流速和浓度对于气态污染物治理技术应用来说是两个非常重要的因素  。

生物过滤和燃烧技术能应用于较高浓度范围，但却受气体的流速所限。而低温等离子体技术对气体的流速和浓度都有一个很宽的应用范围，低温等离子设备其应用广泛不言而喻。等离子体技术工艺简单。吸附法要考虑吸附剂  的定期更换，脱附时还有可能造成二次污染；燃烧法需要很高的操作温度；生物法要严格控制ph值、温度和湿度等条件，以适合微生物的生长。

而低温等离子体技术则较好的克服了以上技术的不足，反应条件为常温常压，反应器结构简单，低温等离子设备并可同时消除混合污染物，不会产生二次污染等。就经济可行性来说，低温等离子体反应装置本身系统构成就单一紧凑，在运行费用方面，微观来讲，因放电过程只提高电子温度而离子温度基本保持不变，这样反应体系就得以保持低温，低温等离子设备所以不仅能量利用率高，而且使设备维护费用也很低。